कई चरण हैं लेकिन मूल प्रक्रिया यह है कि आप एक फोटोरसिस्ट का उपयोग करें।
प्रक्रिया चरण की शुरुआत में, एक फोटोरसिस्ट वफ़र पर "काता है"। यह एक बहुत ही शाब्दिक बात है, वे बहुलक को सतह पर टपकने के दौरान वेफर को स्पिन करते हैं जो सटीक मोटाई की पतली परत में फैलता है। यह ठीक हो जाता है और फिर एक फोटोलिटोग्राफ़िक मशीन में रखा जाता है, जो फ़ोटोरसिस्ट (AKA PR) में अव्यक्त छवियों को छोड़ने वाले वेफर पर एक छवि का निर्माण करता है।
पीआर विकसित किया गया है (कुछ प्रतिरोध नकारात्मक हैं और कुछ सकारात्मक हैं, जिसका अर्थ है कि उजागर क्षेत्र बने रहें या उजागर क्षेत्र समाप्त हो जाएं)। विकास प्रक्रिया पीआर के उन हिस्सों को हटा देती है जिन्हें वांछित पैटर्न के पीछे छोड़ दिया जाना है।
पीआर उन क्षेत्रों को परिभाषित कर सकता है जो etched (हटाए गए) या खिड़कियां हैं जिनके माध्यम से आयनों को प्रत्यारोपित किया जाता है। इम्प्लांटिंग एक ऐसी प्रक्रिया है जिसके माध्यम से सी को डोप किया जाता है।
एक बार क्षेत्र प्रत्यारोपित होने के बाद, शेष पीआर को हटा दिया जाता है और इम्प्लांट क्षति को कम करने के लिए वफ़र को थर्मल रूप से उपचारित किया जाता है।
लिथो चरणों के बीच में जमाव, वृद्धि, नक़्क़ाशी, गीला स्नान, प्लाज्मा उपचार आदि हैं।