यह एक "मेटा" उत्तर होगा जिसमें कुछ गलतफहमी को दूर करने के लिए अन्य उत्तरों का जिक्र है।
वीएलएसआई निर्माण के दौरान विभिन्न स्तरों पर लिथोग्राफी के विभिन्न प्रस्तावों का उपयोग किया जाता है और गेट परिभाषा स्तर पर केवल सबसे आधुनिक और सबसे बेहतरीन विवरण का उपयोग किया जाता है। यहां तक कि पॉली सिलिकॉन परिभाषा के पिछले चरण पुराने लिथोग्राफी टूल (जैसे सक्रिय क्षेत्र परिभाषा एसटीआई - एलओसीओएस आदि) के साथ किए जाते हैं।
कारण बहुत सरल है, सबसे उन्नत (और इस प्रकार सबसे महंगे) उपकरणों का उपयोग क्यों करें जो परतों को परिभाषित करने के लिए सबसे महंगे मास्क का उपयोग करते हैं जो स्वाभाविक रूप से कम संकल्प की आवश्यकता होती है?
दरअसल, इलेक्ट्रो-माइग्रेशन को रोकने और पावर रेल के प्रतिरोध को कम करने के लिए अधिक धातु का समर्थन करने के लिए शीर्ष धातु बहुत मोटी हो जाती है।
उदाहरण के लिए, एक 180 एनएम प्रक्रिया में गेट को 5X लॉन्च मास्क मास्क के साथ KrF लेजर आधारित लिथोग्राफी @ 248 एनएम का उपयोग करके परिभाषित किया गया है। इसका उपयोग संपर्कों के लिए भी किया जाता है। धातु 1 एक स्टेपर में किया जा सकता है जो i-लाइन @ 365nm और 5X मास्क का उपयोग कर रहा है, लेकिन कोई चरण सुधार लागू नहीं है।
इस बिंदु पर, चिप की शीर्ष परतें बहुत कम रिज़ॉल्यूशन वाली होती हैं और इस प्रक्रिया को "परिभाषित के रूप में" की तुलना में बहुत अधिक पिच होती है - और यहां तक कि परिभाषा में बहुत समय तक कायरता मिलती है।
शीर्ष धातु में न्यूनतम विशेषताओं का आकार हो सकता है, जो उस 180 एनएम की प्रक्रिया में 3um जितना बड़ा है, मैंने जाँच की।
आमतौर पर शीर्ष मरना या तो Si3N4 या पॉलीमाइड है। जिसे उन तस्वीरों में हटा दिया गया है।
तो सबसे संभावित बात यह है कि वे चित्र वास्तव में एक माइक्रोस्कोप में लिए गए प्रकाश चित्र हैं। रंग इसलिए हो सकते हैं क्योंकि संरचना की ऊँचाई प्रकाश की तरंग दैर्ध्य के क्रम पर होती है और इसमें विवर्तनिक प्रभाव होते हैं। लेकिन चूंकि हमारे पास पैमाना नहीं है इसलिए निश्चित होना सुरक्षित नहीं है।
लेकिन यह एक इलेक्ट्रॉनमाइक्रोग्राफ हो सकता है जिसे "प्रीटिटी" के लिए रंग दिया गया है। यह एक पुस्तक के कवर से आता है, और कौन जानता है कि वहां तेह कला विभाग क्या करता है।
इसलिए मैं एक दूसरे से यह कहने को तैयार नहीं हूं कि यह ऑप्टिकल या SEM है। @ W5VO देखता है कि ऑप्टिकल के लिए क्षेत्र की गहराई बहुत बड़ी है, और मैं सहमत हूं। हम यहाँ पैमाने नहीं जानते, उन संरचना को आसानी से 10 माइक्रोन के युग दिया जा सकता है।
एक इलेक्ट्रॉन माइक्रोग्राम के बारे में कभी नहीं सुना - मानक नामकरण परंपराओं के तहत जो "छोटे इलेक्ट्रॉन संदेश" में तब्दील हो जाएगा, मैं यह भी उल्लेख करने वाली किसी भी चीज के लिंक नहीं पा सकता हूं। इसलिए मुझे यह सुनना अच्छा लगेगा कि यह क्या हो सकता है।